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稀土金属靶: La, Ce, Pr, Nd, Sm, Eu, Gd, Tb, Dy, Ho, Er, Tm, Yb, Lu, Sc, Y
难熔金属靶: Ta, Nb, W, Mo, Ti, Zr, Hf等
稀贵金属靶: Ge, In, Ag, Td, Re, Pt, Au, Bi, Cr, Ni, Co 等
合金靶: NiCr, TiAl, WTi, CoFe, NiFe, CoCrTa, SmCo, YAl, ScAl, HfFe, YZr, NiTi, TiZr, AlSi, AlCu, WCu, ZrV, GdTi  等
陶瓷靶: Al2O3, BaTiO3, BaxSr(1-x)TiOy, BaZrO3, Bi2FeCrO6, CeO2, NiFe2O4, MgO, PZT, PbZrO3, SrTiO3, SrZrO3, YBCO, TiO2, ZnO, ZrO, AZO, ITO, LaB6, CeB6


 
 
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难熔金属: Ta, Nb, W, Mo, Ti, Zr等
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